力士樂REXROTH壓力傳感器理論知識介紹說明

力士樂Rexroth壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器。一般普通力士樂壓力傳感器的輸出為模擬信號，模擬信號是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號。 或在一段連續(xù)的時間間隔內(nèi)，其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號。而我們通常使用的力士樂壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
力士樂壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的力士樂壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體力士樂壓力傳感器也應(yīng)運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散力士樂壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
靜電容量型
靜電容量型力士樂壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力(壓力)使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式)。
力士樂Rexroth壓力傳感器四個無法避免的誤差編輯在選擇力士樂壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度，而力士樂壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說四個無法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。
首先的偏移量誤差：由于力士樂Rexroth壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。
第三是線性誤差：這是一個對力士樂Rexroth壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。
最后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，力士樂Rexroth壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計，因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
力士樂Rexroth壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備，利用高新技術(shù)來降低這些誤差，還可以在出廠的時候進(jìn)行一點的誤差校準(zhǔn)，盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。