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敞開式直線光柵尺海德漢技術(shù)參數(shù)介紹說明
敞開式直線光柵尺廣泛用于測(cè)量值精度要求極高的應(yīng)用中。例如半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)和測(cè)量設(shè)備、PCB電路板組裝機(jī)以及測(cè)量機(jī)。為確
保直線光柵尺在整個(gè)生命周期中保持持續(xù)的高精度,海德漢開發(fā)了信號(hào)處理ASIC HSP 1.0,將它應(yīng)用于增量式位置測(cè)量的敞開式直線
光柵尺。
這款A(yù)SIC
芯片
幾乎能完全補(bǔ)償干擾造成的信號(hào)幅值波動(dòng)。也就是說能顯著提高信號(hào)穩(wěn)定性,有效抵消測(cè)量基準(zhǔn)或掃描掩膜污染的影響。
以此保證持續(xù)穩(wěn)定的測(cè)量信號(hào)幾乎不受細(xì)分精度或更大噪音因素的影響。
對(duì)于敞開式直線光柵尺,海德漢開始引入全新的精度數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)讓設(shè)計(jì)工程師在為應(yīng)用選用適當(dāng)光柵尺時(shí)擁有更詳細(xì)的信息。
除精度外,還能擁有以下數(shù)據(jù):
? 短間隔寬度上的光柵精度
? 細(xì)分精度
? 位置信號(hào)噪聲
敞開式直線光柵尺海德漢技術(shù)參數(shù)
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