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質量流量控制器成為新一代新型儀表-專注微流體控制技術

質量流量控制器成為新一代新型儀表
質量流量控制器不但具有質量流量計的功能，更重要的是，質量流量控制器能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，質量流量控制器自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質量流量計；需要對流量進行控制時，用質量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，但質量流量控制器更好用。例如，后面講到的測量小孔直徑﹑閥門泄漏量﹑工件(如毛細管)流通量等。質量流量控制器可以將流量測量值以標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。對于多數流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計/質量流量控制器，則一般可以忽略不計。
質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示、累積流量自動計量、數據自動記錄、計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。質量流量控制器能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。質量流量控制器有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa; 質量流量控制器可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；質量流量控制器有很寬的流量范圍，我們的產品zui小流量范圍可達0～5 sccm，zui大流量范圍可達0～200 slm?，F如今質量流量控制器已得到了越來越廣泛的應用，成為新一代新型儀表。

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