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常見問題
質(zhì)量流量控制器簡介-專注微流體控制技術(shù)
質(zhì)量流量
控制器
,其原理如下:
“在直徑較細的感應(yīng)管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動時,氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時,利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理,來測定流量?!保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組(即加熱系統(tǒng))與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導(dǎo)系數(shù); K -------
儀表
常數(shù))
想像一下……放置兩臺電熱器,用一條線將兩臺電熱器連接起來,自己坐在線的中點處交叉的直角線上,很暖和。兩臺電熱器發(fā)散同樣的熱量,你坐在離兩臺電熱器同等距離的正中間位置,接受雙方的熱量,是溫度zui高的地方。在這個炎熱的季節(jié),說這樣的話,真是熱得無法忍受啊…… 這時,在側(cè)面加一個電風(fēng)扇,離電風(fēng)扇近的一方發(fā)散出來的熱,被吹到遠一點的電熱器,你坐的地方也會覺得稍微涼一些。風(fēng)扇吹得越快就越?jīng)隹臁?這和熱式感應(yīng)管中的道理一樣,風(fēng)扇的強度(風(fēng)量)=氣體的流量。反過來,要想檢測流量的話,可以說“測量一下氣體流過的時候兩臺電熱器之間移動的熱量即可”
氣體質(zhì)量流量
控制器
用途
1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制;
2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量;
3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制;
4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制;
5. 水廠cl2質(zhì)量流量控制;
6. 生產(chǎn)半導(dǎo)體時高純度氣體質(zhì)量流量測量;
7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量;
8.
泵
的保護控制、
泵
密封、潤滑油池泄漏檢測;
9. 空調(diào)系統(tǒng)控制;
10.
儀表
用空氣、工藝空氣、氮氣等質(zhì)量流量測量。
11. 氣體分析儀,大氣采樣器
12. 泄露監(jiān)測
13. 氣體分配系統(tǒng)
14. 實驗室氣體測量
15. 醫(yī)學(xué)應(yīng)用
16. 燃料電池
17. 應(yīng)用氣體:Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數(shù)氣體。
實際使用中發(fā)現(xiàn),當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符,其實原因很簡單,因為在MFC行業(yè)中,有一種參數(shù)叫CF,即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)(下面簡稱CF)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮氣)定義為標準氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮氣為中心,分布在0.1到1.4左右。
CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話,簡單的分析其比率,用各自的CF值計算即可。
上一個:
壓力控制器故障問題的簡單了解
下一個:
半導(dǎo)體制造-質(zhì)量流量控制器-專注微流體控制技術(shù)
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