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FPD工藝-質(zhì)量流量控制器-專注微流體控制技術(shù)
擁有多種分析、控制、評估技術(shù)以應(yīng)對半導(dǎo)體制造業(yè)對工藝規(guī)格的嚴格要求。
充分利用自身在FPD領(lǐng)域的科技。這些科技提供給不同工藝制造過程中的技術(shù)支持,包括氣體和液體藥物成分,光掩模上顆粒物監(jiān)測,薄膜監(jiān)測。這些技術(shù)同樣可以應(yīng)用于高性能分析及控制設(shè)備以支持PDPs的研發(fā),有機EL,F(xiàn)EDs以及FPD領(lǐng)域的多樣化的發(fā)展。