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質量流量控制器的原理是什么?-專注微流體控制技術
質量流量
控制器
由流量
傳感器
、分流器通道、流量
調節(jié)閥
門和放大
控制器
等部分組成。氣體流量
傳感器
采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將
傳感器
加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制
調節(jié)閥
門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量
控制器
配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。
上一個:
什么是質量流量計?什么是質量流量控制器?
下一個:
怎么理解質量流量計/質量流量控制器的流量單位?
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