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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質(zhì)量流量
控制器
(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量
調(diào)節(jié)閥
門, 閥門能使通過
控制器
的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中,
控制器
的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于最低值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
上一個:
質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)是什么? 使用質(zhì)量流量控制器最害怕什么?
下一個:
質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
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