檢測(cè)部采用了本公司獨(dú)立開(kāi)發(fā)的稱(chēng)為「μF傳感器」的熱式流量傳感器,是搭載有高級(jí)執(zhí)行器控制技術(shù)的氣體用質(zhì)量流量控制器。
利用μF傳感器的特長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)了寬廣流量控制范圍的快速響應(yīng)。
最適合應(yīng)用于工廠生產(chǎn)工序的玻璃、釬焊加工的火焰控制等以前的質(zhì)量流量控制器控制困難的低壓供給燃?xì)獾牧髁靠刂啤?nbsp;
豐富的產(chǎn)品種類(lèi),擴(kuò)大了可使用的應(yīng)用范圍。
與空氣、燃?xì)獾氖褂脺囟?、壓力無(wú)關(guān),可測(cè)量換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。
(* 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量是指在1個(gè)大氣壓、0°C(或20°C)時(shí)的體積流量。)
相對(duì)于最大測(cè)量流量的低流量區(qū)域,一般的氣體流量計(jì)都難于檢測(cè),通過(guò)搭載μF傳感器,可實(shí)現(xiàn)寬廣范圍的測(cè)量、控制。實(shí)現(xiàn)了質(zhì)量流量計(jì)CMS的可調(diào)比100:1、大流量質(zhì)量流量計(jì)CML的可調(diào)比160:1(測(cè)量范圍為1,280:1)的高可調(diào)比!
最適合于空氣及燃?xì)獾氖褂昧康墓芾怼⒓肮?jié)能的漏氣管理。
細(xì)微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進(jìn)行檢測(cè),實(shí)現(xiàn)了快速響應(yīng)。
μF傳感器設(shè)置在流路的壁面上,具有低壓力損失的特點(diǎn)。最適合于低圧氣體流量的檢測(cè)、控制。
μF傳感器隨時(shí)間的特性變化非常小,能長(zhǎng)期保持高精度。
通過(guò)控制機(jī)器積累的微電腦的技術(shù),搭載了以前的質(zhì)量流量計(jì)沒(méi)有的各種功能。
瞬時(shí)/累積流量顯示、燃?xì)夥N類(lèi)切換功能、上下限報(bào)警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等?。? 因產(chǎn)品而異)
根據(jù)使用用途,備有從5mL/min型號(hào)到500L/min型號(hào)的寬廣流量區(qū)域的產(chǎn)品。
| 外觀 | 主要用途 |
口徑 (B) |
流量量程 | |||||||||
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浮子式流量計(jì) (吹流型)的置換 | 1/8 |
0.5 L/min ~ 20 L/min |
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| Gas Types | 空氣 | 氮?dú)? | 氧氣 | 氬氣 | 二氧化碳 | 城市煤氣 | 沼氣 | 丙烷 | 丁烷 | 氫氣 | 氦氣 | 笑氣 |
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| 外觀 | 主要用途 |
口徑 (B) |
流量量程 | |||||||||
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真空成膜,電子部件燒成,分析裝置 | 1/4 |
50 mL/min ~ 20 L/min |
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| Gas Types | 空氣 | 氮?dú)? | 氧氣 | 氬氣 | 二氧化碳 | 城市煤氣 | 沼氣 | 丙烷 | 丁烷 | 氫氣 | 氦氣 | 笑氣 |
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| 外觀 | 主要用途 |
口徑 (B) |
流量量程 | |||||||||
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燒嘴的空燃比控制,燃料電池的評(píng)價(jià)裝置 |
1/4 1/2 |
0.2 L/min ~ 1000 L/min |
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| Gas Types | 空氣 | 氮?dú)? | 氧氣 | 氬氣 | 二氧化碳 | 城市煤氣 | 沼氣 | 丙烷 | 丁烷 | 氫氣 | 氦氣 | 笑氣 |
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